data-id="" >iczhiku.comhttps://picture.iczhiku.com/resource/eetop/...[PDF]外延工艺在集成电路制造产业中的应用 - iczhiku.com网页2008年5月3日 · 硅及锗硅外延工艺在现代集成电路制造中应用十分广泛,概括起来主要包括: 1.硅衬底外延:硅片制造中为了提高硅片的品质通常在硅片上外延一层纯净度更高的本征硅;或者在高搀杂硅衬底上生长外延层以防止器件的闩锁(latch up)效应。. 2.异质结双极晶体 …
发布时间：2024-06-03