在半导体制程行业中，芯片的生产要经过几百道工序，会使用到大量的特种气体。而特种气体大多易燃易爆、剧毒、腐蚀性的气体，为了安全输送和使用这些危险性气体，半导体厂中会安装电子特气系统，配置电子特气柜GC、气体分配箱VMB和特气泄漏监测报警器等特种设备。

电子特气柜

因特种气体的特殊性，承载特种气体的气瓶柜体须为防爆柜体，同时为保证半导体制程工艺中特种气体的稳定供气和安全，应具备多种功能，如柜内气体泄漏侦测报警、PLC面板控制、全自动吹扫等，提高使用安全系数，有效的保护生产安全和人员的生命安全。其次，半导体行业配置电子特气柜需要拥有SEMI S2认证。

SEMI S2的对象是针对半导体制程设备的，是关于环境、健康、安全方面的标准，也即为EHS标准，因为半导体行业涉及到很多特种气体、化学品及电气、游离及非游离的辐射，如果处理不好，下游用户在使用的时候就很容易导致事故甚至灾难，因此对设备厂商的设备产品如电子特气柜，拥有SEMI S2认证就显得极端重要。

SENI S2认证书

由以上描述可知，在半导体制程工艺中，需要“安全”和“稳定”的使用特种气体，普通的气瓶柜无论是在材质上还是功能上都无法满足要求，所以半导体行业应配置有SEMI S2认证的电子特气柜。最后，感谢您的阅读！