|
翘曲度测量仪是孚光精仪公司进口的全球领先的翘曲度检测仪器，一套翘曲度测试仪器可以测量：热沉,晶圆(wafer),太阳能电池和硅片翘曲度,应力以及表面形貌。适合光伏电池翘曲度测量,太阳能电池翘曲度测量,晶圆翘曲度测量,硅片翘曲度测量,晶片翘曲度测量。
这款翘曲度测量仪是特别为半导体晶圆（wafer)和太阳能电池（solar cell)的翘曲度（warp) 和弯曲度(bow)以及表面形貌(topography)的测量而设计，可以测量晶圆翘曲度（wafer warpage) 和晶圆表面形貌, 晶圆应力,硅片张力,太阳能电池量子效率.
这套翘曲度检测仪既适合科研单位使用，也适合工业客户大产品、高效率的晶圆翘曲度和表面形貌的检测的需要。
我们还根据不同晶圆类型提供如下两种硅片翘曲度测量仪：
1. 非反射型：适合晶圆表面覆盖晶圆保护膜/胶带（wafer tape)，图案化晶圆 /图样化晶圆（patterned wafer)，粗糙的晶圆的应用；
2. 高反射型： 适合晶圆表面光滑 / 镜反射的应用。
翘曲度测量仪主要特点：
× 适合不同尺寸的晶圆检测，从0.5’‘到12''的直径；
* 标准检测能力为： 每小时可检测2000个晶圆或更多太阳能电池；
× 同时测量多个晶圆或太阳能电池；
× 测量镀膜后的晶圆或solar cell;
* 分析太阳能电池或晶圆应力和张力；
* 对晶圆表面进行图像分析；
* 测量图案化晶圆或非图案化的晶圆；
* 具有太阳能电池的量子效率测量选项供选择
翘曲度测量仪主要参数：
× 翘曲度测量范围：1-20微米；
* 重复精度： 百分之0.5 （1 sigma);
* 给出结果：曲率半径,晶圆弯曲高度，翘曲度，测量日期和时间；
* RMS粗糙度mapping: 0.5-20A （可选项）；
* 光源：根据用户的应用而配备不同光源；
* 探测器：高分辨率探测器阵列并配备亚像素软件；
更多翘曲度测量测试仪器官网：http://www.felles.cn/jingyuanceshi.html
|