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【上海岩濑】KELK化学液体加热器,为什么会在半导体制造线中大量应用

2024-06-03 11:56| 来源: 网络整理| 查看: 265

日本KELK是制作特殊化学液体加热器、超纯水加热器及其他精密温度控制器的专业厂家,原名KOMATSU(小松制作所),1966年成立,有57年的研发和制造经验。KELK超纯水加热器和化学液体加热器在半导体、锂电池、太阳能电池清洗中被广泛应用。

CS加热器主要用于半导体制造线上硅晶片的清洗、液晶制造线中的玻璃基板的清洗等适用的加热超纯水装置。加热部是用高品质石英玻璃双层覆盖的卤素灯因为是由纤维构成,所以安全无污染、无损害。

主要特征:

*加热器采用高品质石英玻璃双层覆盖的纤维卤素灯,不会因为石英溶接和加热器破损对液体造成污染。

*超小型设计,不占空间

*加热效率达95%,缩短了加热等到时间。

*对过升温、空烧、漏水等的安全功能及警报机根据能力对应安全性。

主要用途:

1.硅晶片的清洗

2.液晶用玻璃基本的清洗

3.温纯水清洗代替其他氟利昂类清洗返回搜狐,查看更多

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